采用红外透射显微镜测量碲锌镉材料非晶相缺陷的面密度
根据非晶相缺陷在红外透射显微镜中的几何成像原理,当缺陷图像的灰度一定时,其离焦距离与缺陷尺寸的比值只与显微镜的数值孔径相关.因此,只要测量出特定灰度范围内的缺陷数量,即可求出碲锌镉晶体材料中位于焦面附近的缺陷面密度.实验结果表明,与表面化学腐蚀坑观察法相比,新方法具有测试简单、非破坏性和自动化测量等优点,并能满足生产线对材料测试技术的要求.
半导体材料 碲锌镉 非晶相缺陷 面密度 红外透射显微照片
周昌鹤 孙士文 虞慧娴 周梅华 杨建荣
中国科学院上海技术物理研究所,上海200083
国内会议
南京
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2015-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）