红外探测器用碲锌镉晶体材料的合成技术研究

摘要：

碲锌镉晶体是研制碲镉汞红外焦平面探测器所需的衬底材料,其制备技术由源材料合成、晶体生长、衬底加工和测试评价四个部分组成.本文针对合成工艺中的放热过程和合成料化学计量比的控制方法进行了研究.实验使用可视监控系统观测了碲锌镉多晶合成反应的动态过程.通过测量合成反应过程中石英坩埚的温度以及计算合成反应过程中碲和镉反应的放热速率等方式优化了碲锌镉晶体的合成工艺,并在此基础上通过采用定向凝固法技术对合成料的化学计量比实现了有效控制.

关键词： 红外探测器件 碲锌镉 合成工艺 晶体生长 衬底加工

作者: 徐超 周昌鹤 孙士文 虞慧娴 杨建荣

作者单位: 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海200083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015年红外、遥感技术与应用研讨会暨交叉科学论坛

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 1-9

在线出版日期: 2015-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）