用于缺陷检测的宽光谱大视场大数值孔径显微成像系统设计
宽光谱大视场显微成像光学系统是45nm技术节点全自动光学在线有图形硅片缺陷检测设备的两大核心部件之一.为满足对硅片上不同工艺层、不同缺陷的快速、准确、大范围检测要求,该光学系统必须是宽光谱(近紫外到可见光)、大数值孔径(NA≥0.85)、大视场、平场光学系统,且系统分辨力要达到衍射极限.根据该缺陷检测设备对显微成像光学系统的设计要求,本文设计并加工了宽光谱大视场显微物镜和基于此物镜的显微成像光学系统.根据国家光学仪器质量监督检验中心实际检测,所设计和加工的显微物镜及显微成像光学系统满足设计技术要求.利用基于此光学系统搭建的检测装置对标准硅片样品进行了检测,实际检测结果表明利用该光学系统可以对硅片缺陷进行有效检测.
光学仪器 显微物镜 成像系统 结构设计 缺陷检测
步扬 徐静浩 曹红曲 徐文东 王向朝
中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
国内会议
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1-12
2015-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）