低浓度废氦气的提纯技术概述

摘要：

氦气是稀缺性资源,针对用氦环节所排放的≥10％He浓度的废氦气,本文介绍一种通用型的废氦气提纯技术,通过将废氦气回收提纯、循环利用达到节约资源的目的.该技术采用两段式提纯技术路线:第一阶段是将浓度≥10％He的废氦气提纯至98％,满足对氦气浓度要求不高、收率要求高的情况;第二阶段是将氦气精制提纯至99.999％以上,满足高纯氦气的要求.

关键词： 废氦气 提纯工艺 资源利用

作者: 郭会军 刘朝明 章学华 汪澎 赵俊 周家屹

作者单位: 安徽万瑞冷电科技有限公司,合肥230088;中国电子科技集团公司第十六研究所,合肥230042

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国低温工程大会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 421-425

在线出版日期: 2015-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）