原子力显微镜Timoshenko悬臂梁的振动分析

摘要：

本文研究了原子力显微镜微悬臂梁的振动模态频率分析.在此研究中,考虑了耦应力理论对振动方程的影响,并且利用Timoshenko梁理论对原子力显微镜的微悬臂梁进行分析,研究微悬臂梁的各个模态的振动情况.问题的求解分析应用DQ法,借助有限元软件FORTRAN语言编程求解.

关键词： 原子力显微镜 悬臂梁 振动模态频率 耦应力理论

作者: 梁利娜 柯燎亮 汪越胜

作者单位: 北京交通大学 北京100044

会议类型: 国内会议

会议名称: 北京力学会第21届学术年会暨北京振动工程学会第22届学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 211-213

在线出版日期: 2015-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）