ICP-MS分析气体中的金属元素

摘要：

本文结合ICP-MS分析方法国标的制定,对电子工业气体中的金属元素进行分析.本文探讨了各类气体的处理方式,分析方法的原理、步骤.用ICPMS对气体样品进行分析，对样品的处理按气体种类分为两种。该方法对适用于对气体中金属元素的测定.

关键词： 电子工业气体 金属元素 电感耦合等离子质谱法 国际标准

作者: 陈鹰 姜阳 周朋云

作者单位: 上海市计量测试技术研究院,上海,200437 西南化工研究设计院有限公司,成都 610225

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015全国气体标准化联合会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 1-22

在线出版日期: 2015-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）