气相色谱法测高纯磷烷中的杂质含量

摘要：

磷烷在常温常压下为具有大蒜气味的无色剧毒气体，其作为一种重要的电子工业用气体，主要作为半导体器件制造中的重要N型掺杂源。本文采用氦离子检测器(PDHID)气相色谱分析方法测定磷烷(PH3)中的杂质,结果表明氦离子检测器(PDHID)对磷烷分析有较好的效果,并验证其测量应用范围.由于磷气体有剧毒，必须对气路管道、色谱柱、检测器以及各种接头进行严格检漏，实验室也要配置报警装置，并做好尾气处理。

关键词： 电子工业气体 磷烷 杂质测定 氦离子检测器 气相色谱法

作者: 郁光 周鹏云 咸鹏林 庄鸿涛 方华

作者单位: 上海华爱色谱分析技术有限公司,上海200437 西南化工研究设计院有限公司,成都610225

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015全国气体标准化联合会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 1-8

在线出版日期: 2015-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）