单晶硅激光硼掺杂的研究

摘要：

采用激光掺杂技术研究p型单晶硅片背面局部掺硼,实验中选取三种硼掺杂源,并得出硼酸溶于丙三醇溶剂中掺杂浓度最高,以它作为掺杂源,研究激光各参数对掺杂的影响,通过调节激光的y轴方向的重叠率,激光波长,功率,平台速度,频率等来探究对硅片方块电阻的影响,同时用金像显微镜和扫描电镜(SEM)观察掺杂表面形貌,截面激光融熔深度,以及测ECV观察硼原子硅片掺杂浓度及深度;最后将激光参数优化,并得到一个理想的结果.

关键词： 光伏电池 单晶硅 激光掺杂 硼原子

作者: 眭山 王学孟 沈辉

作者单位: 顺德中山大学太阳能研究院 顺德 528300 顺德中山大学太阳能研究院 顺德 528300;中山大学太阳能研究所,广州510006

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015中国光伏大会暨第十五届中国光伏学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 21-27

在线出版日期: 2015-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）