晶体硅太阳电池减反钝化复合薄膜研究
研究运用中频磁控溅射装置进行反应溅射，在衬底上制备出氮化硅薄膜。运用多种不同折射率的氮化硅薄膜相叠加，可以形成多层梯度复合薄膜，其减反效果比单一折射率的薄膜会更加优秀。除去减反效果以外，氮化硅薄膜也具备钝化效果，其钝化效果具体体现在化学钝化、场效应钝化以及氢钝化。在对表面悬挂键完成填补、降低表面态密度的同时氮化硅中的氢原子会在退火过程中渗透入硅中，对缺陷进行填补，完成氢钝化。
晶体硅太阳电池 半导体薄膜 减反性能 钝化性能
沈国晟
中山大学太阳能系统研究所,广州510000
国内会议
北京
中文
60-61
2015-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）