可产业化单晶硅倒金字塔制绒新工艺
本文利用一步无掩膜铜纳米粒子催化刻蚀方法在工业用156×156mm2单晶硅片上制备了均匀致密的倒金字塔绒面，研究了其催化刻蚀机理以及倒金字塔的结构和陷光性能；还进一步制备了倒金字塔晶硅电池，由于倒金字塔下凹的结构特点，利于覆盖和电极填充，取得了较好的电池性能，串联电阻明显降低。由于该倒金字塔制绒工艺具有制作简单、刻蚀温度低、时间短，且与现有产线兼容，可望在提高绒面性能的同时大幅降低制绒片的生产成本，具备产业化应用的良好条件。
硅太阳能电池 单晶硅片 制绒工艺 倒金字塔结构
刘尧平 杨丽霞 王燕 陈伟 杜小龙
中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室,北京00190
国内会议
北京
中文
95-97
2015-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）