IBC太阳电池关键制作工艺研究

摘要：

本文介绍了IBC太阳电池制作中制绒、光刻、反应离子刻蚀等关键工艺技术，说明了不同的工艺条件对制作效果的影响，通过优化这些关键工艺，可以有效提高IBC太阳电池的发电性能。

关键词： 硅太阳电池 制作工艺 发电性能

作者: 杜荣池 张晓丹 李娟 王奉友 赵颖

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015中国光伏大会暨第十五届中国光伏学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 156-158

在线出版日期: 2015-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）