Ag膜厚度对AZO/Ag/AZO透明导电薄膜光电性能的影响

摘要：

本文采用直流磁控溅射法，以普通载波片为衬底，在室温下沉积了AZO/Ag/AZO多层结构透明导电薄膜，研究了Ag膜厚度对膜系光电性能的影响。随着Ag膜厚度的增加，膜系电阻率呈下降趋势，透过率先升高后降低，最佳Ag膜厚度为15nm，电阻率为4.99E-05Ω·cm，可见光波段平均透过率为81.18％。可以应用于有机及柔性光伏器件中。

关键词： 薄膜太阳能电池 导电薄膜 银膜厚度 光电性能

作者: 颜庚骅 洪瑞江

作者单位: 中山大学太阳能系统研究所,广州510006

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015中国光伏大会暨第十五届中国光伏学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 10-12

在线出版日期: 2015-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）