共溅射法制备铜铟镓硒薄膜的研究

摘要：

本文中使用了共溅射制备预制层再真空硒化退火的办法制备了CIGS薄膜，并对预制层与CIGS薄膜进行了形貌和成分分析，结果显示预制层形貌较为粗糙，硒化后CIGS薄膜能够保持预制层成分比例。优化工艺后有望获得性能良好的CIGS吸收层薄膜。

关键词： 铜铟镓硒薄膜 制备工艺 表面形貌 性能优化

作者: 吴兆 洪瑞江

作者单位: 中山大学太阳能系统研究所,广州 510006

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015中国光伏大会暨第十五届中国光伏学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 31-33

在线出版日期: 2015-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）