CIGS薄膜表面结构优化研究

摘要：

通过三步法共蒸发制备CIGS吸收层，然后采用后掺工艺分别掺入5nm、20nm、50nm的NaF，从形貌中发现随着随着NaF量的不断增加，SEM表面图晶粒变紧凑，NaF对CIGS吸收层表面结构有修复作用；掺入适量NaF，载流子浓度提高，电阻率降低，当掺入过多的量，电学性质反而变差。通过研究可以精确控制掺入15-25nm的NaF，这为产业化生产CIGS太阳能电池提供了研究基础。

关键词： 铜铟镓硒薄膜 表面结构 载流子浓度 电学性质

作者: 高林 王赫

作者单位: 中国电子科技集团公司第十八研究所 化学与物理电源技术重点实验室,天津300381

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015中国光伏大会暨第十五届中国光伏学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 48-50

在线出版日期: 2015-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）