硒化时间对铜锌锡硫硒薄膜硒含量的影响

摘要：

本文阐述直接溅射铜锌锡硫靶后硒化法能够制备得到了铜锌锡硫硒薄膜。随着硒化时间的增加，铜锌锡硫硒薄膜的S/(S+Se)值增加，其结构从铜锌锡硫向铜锌锡硫硒转变，最后为纯的铜锌锡硒结构。此外，铜锌锡硫硒薄膜的S/(S+Se)值能够通过改变硒化时间进行调控，其关系为指数关系。

关键词： 铜锌锡硫硒薄膜 硒含量 硒化时间

作者: 孙汝军 庄大明 赵明 欧阳良琦 郭力 曹明杰 李晓龙 谢敏

作者单位: 清华大学材料学院,北京100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015中国光伏大会暨第十五届中国光伏学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 85-87

在线出版日期: 2015-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）