CIGS薄膜退火过程中的相分离现象
本文研究发现，CIGS在低温下退火存在相分离现象，退火过程中薄膜表面出现颗粒状团簇或者晶粒。当退火温度低于380℃时，铜铟镓硒颗粒主要由Cu-Se相构成。当退火温度低于310℃时，铜铟镓硒基体处除含有Cu-Se相外，还含有贫铜的In4Se3相和OVC相。随着退火温度的升高，Cu-Se相与OVC相反应生成CIGS相。当退火温度高于410℃时，薄膜中仅含CIGS相，此时适合用于制备电池器件。随着退火温度的升高，铜铟镓硒晶粒逐渐长大，结晶性得到提高，因此较为合适的制备电池器件的退火温度为550℃。
铜铟镓硒薄膜 退火反应 相分离现象 温度控制
欧阳良琦 赵明 庄大明 巩前明 曹明杰 郭力 孙汝军 高泽栋 李晓龙
清华大学材料学院先进成形制造教育部重点实验室,北京100084
国内会议
北京
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94-96
2015-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）