碲化镉多晶薄膜的气相输运沉积及与金属接触电阻测量

摘要：

气相输运法制备的多晶CdTe薄膜经过CdCl2气氛下退火处理后，晶粒明显增大，晶界消融，晶粒对(111)面的取向增强。CdTe和Au、Ni、Co和Cu间的接触电阻率，在经过热退火处理后，下降一个数量级；在CdTe和金属电极之间加一层ZnTe:Cu过渡层并退货后，CdTe/metal接触电阻率进一步下降一个数量级。

关键词： 碲化镉多晶薄膜 气相沉积 金属接触电阻 晶粒大小

作者: 刘才 刘霄 张静全 冯良桓 武莉莉 李卫 黎兵 曾广根 王文武

作者单位: 四川大学材料科学与工程学院,成都610064

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015中国光伏大会暨第十五届中国光伏学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 124-126

在线出版日期: 2015-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）