20.6%N型双面电池隧穿氧化层钝化技术研究
隧穿氧化层是一种新型、高效的钝化技术，本文在N型双面电池的正面，利用产线现有扩散设备在电池正面模拟制备了含硼隧穿氧化层，通过工艺参数的优化，确定了最佳工艺参数，并通过对正背面方阻、正背面ECV结型的测试，确定工艺在不影响双面掺杂及背面钝化效果下，可达到使硅片表面多子穿过的隧穿效果。通过制备小批量含硼的隧穿氧化层的N型双面电池验证，可以使电池的Voc提高4.7mV，Isc提高了20mA，FF提升0.18％，电池效率提高了0.24%。
双面太阳电池 隧穿氧化层 钝化工艺 转换效率
巩翠翠 郑飞 陶智华 张忠卫
上海神舟新能源发展有限公司
国内会议
北京
中文
168-171
2015-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）