离子注入技术在高效N型PERT双面电池上的应用

摘要：

本文研究了离子注入技术在N-PERT电池上的应用，与传统扩散技术相比具有注入均匀性好，剂量准确可控，重复性高等特点，在电池性能与收敛性方面更有优势。同时可以显著简化N-PERT工艺流程，结果显示，注入后的退火可有效修复晶格的损伤，通过注入剂量的优化，批量试制效率达20.69％。

关键词： 晶硅太阳电池 离子注入 晶格修复 性能表征

作者: 郭唯博 郑飞 张忠卫

作者单位: 上海神舟新能源发展有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015中国光伏大会暨第十五届中国光伏学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 172-175

在线出版日期: 2015-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）