磁控溅射在PI/石墨烯基体上制备氧化锌薄膜
聚酰亚胺(PI)/石墨烯复合薄膜兼备了可挠曲性及透明、导电性,可作为柔性透明导电电极用于柔性电子器件中.但附着于PI上的石墨烯易划伤,使其导电性变差.本实验采用脉冲直流磁控溅射法,以PI/石墨烯为基体,镀制保护石墨烯的氧化锌薄膜.分别采用原子力显微镜、X射线衍射仪、台阶仪、霍尔效应仪及紫外-可见分光光度计检测PI/石墨烯/ZnO复合薄膜的表面形貌、晶体结构、薄膜厚度及导电、透光性能.结果表明PI/石墨烯/ZnO复合薄膜结构致密,氧化锌以(002)为择优取向,最低方阻为1.9×104Ω/sq,略低于石墨烯的方阻,可见光区平均透光率达80％.
电极材料 复合薄膜 氧化锌 聚酰亚胺 石墨烯 磁控溅射法
沙天怡 周艳文 齐艳萍 佟欣儒 王羽倩
辽宁科技大学材料与冶金学院,辽宁省 鞍山市 114051
国内会议
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196-200
2015-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）