洁净室用化学过滤器的应用研究
通过对TFT,AMOLED这个行业加装化学过滤器的情况进行一些调研，且对LTPS项目中的ELA、PECVD工段已加装的化学过滤器(包括酸碱和有机化学过滤器)，进行了一年左右的数据监测所得到的数据，发现在FFU上加设平板式化学过滤器，其寿命短，更换周期短，目前国内尚无成型产品，均引用韩国、日本的产品，费用高。建议将风机、化学过滤器和干表冷器装设在同一机组壳体内，利用风机将生产车间内的空气吸入空气处理机组中，然后通过干表冷器对吸入的空气进行干冷却处理，利用化学过滤器去除空气中一些有害化学物质，最后将处理后的空气送回室内，这个过程即提供的空气处理机组既能对生产车间内空气进行干冷却处理，又能吸附生产车间内空气中的一些有害化学物质。因此，与现有技术中因风机过滤机组提供给化学过滤器的压力小，导致化学过滤器采用的吸附剂层厚度较薄相比，该空气处理机组，因将风机、化学过滤器和干表冷器装设在同一机组中，即空气处理机组自带风机，使化学过滤器可以采用较厚的吸附剂层，当然也可以采用多个化学过滤器，从而延长了化学过滤器的使用寿命，进而提高了空气处理机组的连续工作时间，且能同时控制生产车间内的温度。
洁净室 空气处理机组 制造工艺 化学过滤器 离子性气体污染物
肖红梅 秦学礼 王江标
世源科技工程有限公司
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吉林延吉
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113-120
2014-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）