PECVD高阻隔膜镀膜设备的研制
结合PECVD成膜及卷绕设备的制作及控制技术,研发一种在柔性材料表面沉积硅膜,达到有效阻隔氧气、水汽效果的镀膜设备.设备采用多区域放电及多辊卷绕,实现高速镀膜.实测表明,生产的阻隔膜完全满足食品包装的要求，室体整体加工，确保了卷绕系统各传动辊的平行及精度。为最终收膜质量断定了基础，选用国际优质的高温液体质量流量计，确保HMDSO不会对充气毛细管造成堵塞，保证了充气的稳定，合适的中频放电及放电区域的合理设计，确保放电稳定，放电区气氛均匀，膜表面光洁，氧化硅膜膜厚一致，多电机同步运动控制技术，使一次走膜可进行多区域放电，沉积速率高，产量大。
食品包装 镀膜设备 卷绕系统 放电区域
梁凯基 朱惠钦
广东肇庆市振华真空机械有限公司,广东肇庆526020 北京北印东源新材料科技有限公司,北京101407
国内会议
广州
中文
14-20
2014-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）