氩氧比例对TiO2薄膜结构及光学性能影响

摘要：

在不同氩氧比下,采用中频磁控溅射制备TiO2薄膜.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和可见光光度计分别测试了TiO2薄膜的晶体结构、表面成分及形貌和可见光透射谱.结果表明:在100℃的低温条件下,不同氩氧比例的TiO2薄膜都是非晶结构,薄膜表面平滑致密,当氧氩流速比超过3∶1后,薄膜成分接近于化学配比的TiO2,薄膜的光学性能好,透射比较高,超过80％.

关键词： 二氧化钛薄膜 中频磁控溅射 氩氧比 晶体结构 表面成分 形貌特征 可见光透射谱

作者: 邓志雄 苏东艺 贺祖发 彭继华

作者单位: 华南理工大学材料科学与工程学院;广州今泰科技股份有限公司 广州今泰科技股份有限公司 华南理工大学材料科学与工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013年广东省真空学会学术年会

会议地点: 珠海

会议语种:中文

页码: 42-45

在线出版日期: 2013-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）