用于塑料件低温沉积装饰膜的离子镀新技术

摘要：

研发出阴极柱状电弧建立可控有限长度弧斑区、和弧斑区整体移动方向与速度的可控的新技术,大幅降低了电弧辐射热和以镀件间歇受热镀膜方式,实现了低温沉积.开发了大靶管大功率远靶/基距低温磁控溅射技术,可低于100度下沉积均匀优质镀层.上述两种新技术解决了长期以来在塑料件上离子镀膜变形的难题.

关键词： 塑料件 离子镀膜 真空阴极电弧 低温沉积技术

作者: 李志荣 盛钢 罗志明 李志方 袁镇海

作者单位: 东莞市汇成真空科技有限公司 广州有色金属研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013年广东省真空学会学术年会

会议地点: 珠海

会议语种:中文

页码: 69-73

在线出版日期: 2013-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）