一种新型高能高压脉冲偏压电源电路介绍

摘要：

本文阐述了一种高能高压脉冲电源电路,特别适用于高功率高电压窄脉冲(占空比为0-10％)输出的电源.本电路，避开了传统的输出整流电路，大大提高了电源的可靠性，并很好地改善输出波形。这类电源可以配合离子源、弧源做高压脉冲清洗、轰击，可以配合弧源做偏压电源镀膜；变恒压为恒流／恒功率工作模式也可以用于高能脉冲镀膜。

关键词： 高能高压脉冲电源电路 可靠性 输出波形 工作模式

作者: 梁兆光

作者单位: 中山市昊源设备有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013年广东省真空学会学术年会

会议地点: 珠海

会议语种:中文

页码: 97-99

在线出版日期: 2013-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）