稳定可靠、高性价比低温泵系统研发与技术特点
低温抽气是获得洁净真空环境的一种快捷而有效的方法.它是利用低温表面将被抽气体冷凝十吸附,从而获得并维持真空状态的抽气装置.低温泵系统的核心是小型制冷机,它是一种小型闭循环氦气膨胀制冷机.低温泵起初在半导体行业的发展被广泛利用于高质量的镀膜工艺，而今在镀膜工艺要求越来越高的市场要求下，低温泵的优越性能已经体现出其独特的优势。特别是在ITO镀膜、光学镀膜、以及研发、空间应用情况下，低温泵已经逐渐成为最主要的工艺用泵。相信随着国内真空市场的逐渐发展，低温泵会更加广泛的被应用。优拓也为此正在尽一份绵薄之力。
真空环境 低温泵系统 低温抽气 产品开发
陈俊奇
上海优拓低温技术有限公司
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珠海
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100-105
2013-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）