基于氧化锌纳米棒阵列的声表面波氨气传感器

摘要：

文介绍了一种基于氧化锌纳米棒的声表面波氨气传感器.传感器采用声表面波振荡器结构,选频元件为声表面波谐振器,并通过水热法在其表面生长氧化锌纳米棒阵列敏感薄膜,纳米棒长度为～1um,直径～100nm.该敏感薄膜为三维结构,其比表面积较其他二维结构薄膜大几十倍.将此传感器在常温下进行测试,可以看到,该传感器具有灵敏度高,响应回复速度快等优点,且克服了现有NH3传感器工作温度高的缺点.

关键词： 氨气传感器 制备工艺 声表面波振荡器 氧化锌纳米阵列薄膜 灵敏度

作者: 唐永亮 牛欣玥 李志杰 祖晓涛

作者单位: 电子科技大学物理电子学院,四川成都610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国危险物质与安全应急技术研讨会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 534-539

在线出版日期: 2013-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）