Al含量对TiN/Ti1-xAlxN复合多层涂层组织及力学性能的影响

摘要：

采用多弧离子镀技术,利用纯Ti靶及TiAl合金靶在SKH51高速钢基本上沉积三种不同Al含量的TiN/Ti1-xAlxN复合多层涂层,利用材料表面性能测试仪、显微硬度计、扫描电镜、X射线衍射仪等研究了Al含量及多层结构对涂层形貌、相结构、显微硬度、膜基结合力的影响.结果表明:TiN/Ti1-xAlxN复合多层涂层均为柱状晶结构,断口形貌表现为短纤维状撕裂,随着Al含量的升高,涂层中大颗粒数量增加,显微硬度升高,衍射峰右移,晶格常数减小;与相应成分的单层Ti1-xAlxN涂层相比,硬度均有少许的降低,但结合力有明显的提高.

关键词： 高速钢 复合涂层 氮化钛 氮化铝钛 多弧离子镀 力学性能

作者: 王成蹊 彭继华 梁献文 杜日昇

作者单位: 广州今泰科技股份有限公司,广州510520;华南理工大学材料科学与工程学院,广州510640 华南理工大学材料科学与工程学院,广州510640 广州今泰科技股份有限公司,广州510520

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年广东省真空学会学术年会

会议地点: 广东肇庆

会议语种:中文

页码: 52-57

在线出版日期: 2012-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）