Mn-Co-Ni-0陶瓷薄膜制备及性能研究
负温度系数(Negative Temperature CoeffiCient,NTC)热敏电阻陶瓷具有对温度敏感、体积小、响应快、价格低和互换性好等优点,被广泛用于温度测量、温度控制和温度补偿等方面.采用磁控溅射法在氧化铝陶瓷基片上制备NTC功能层薄膜。靶材选择的是的Mn-Co-Ni-O陶瓷靶，陶瓷靶采用Mn,Co,Ni的氧化物进行高温下固相反应法烧结，然后进行陶瓷制备工艺而成，并对其表面形貌、电性能进行了研究.通过实验，观察了薄膜退火后30％左右的厚度收缩率，同时验证其温度-电阻的负温度特性。NTC器件具有较小的尺寸、较高的灵敏度和精度，需进一步开发，适应市场需求。
锰-钴-镍-氧陶瓷薄膜 磁控溅射法 表面形貌 电性能 负温度特性
杨丙文 王建明 沓世我 杨志勇
广东风华高新科技股份有限公司,肇庆526020
国内会议
广东肇庆
中文
58-62
2012-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）