会议专题

钛合金及其表面沉积Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜的冲蚀行为

采用多弧离子镀技术在TC11钛合金表面制备了厚度为18.7μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜,用45μm白刚玉通过微喷砂试验机评价TC11钛合金及Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜在30°和90°攻角下的抗冲蚀性能,并分析其冲蚀机理.结果表明:30°攻角下,冲蚀砂量为70g时,Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜被冲破,此时该多层膜的冲蚀坑深度为21.88μm,TC11钛合金基材为269.9μm.90°攻角下,冲蚀砂量为20g时,Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜被冲破,此时该多层膜的冲蚀坑深度为8.95μm,TC11钛合金基材为46.96μm.30°攻角下,钛合金的冲蚀以微切削为主,多层膜以微切削和微断裂为主.在90°攻角下,钛合金的冲蚀以点坑冲蚀为主,多层膜以裂纹萌生扩展和点坑冲蚀的混合冲蚀为主.

钛合金 复合薄膜 钛金属 氮化钛 锆金属 氮化锆 多弧离子镀 抗冲蚀性能

蓝恩辉 代明江 胡芳 林松盛 侯惠君

广东工业大学材料与能源学院,广州510006;广州有色金属研究院新材料研究所,广州510651 广州有色金属研究院新材料研究所,广州510651

国内会议

2012年广东省真空学会学术年会

广东肇庆

中文

72-79

2012-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)