清洁、节能、低碳的大型蒸发镀膜设备

摘要：

大型蒸发镀膜设备容积大,气体负载重,要求真空泵的抽速达到几万L/s.目前,该设备普遍采用高能耗的大型扩散泵+罗茨泵+滑阀泵抽气,每台设备,年耗电30～50万度.分析高能耗的原因，采用分子增压泵和电弧钛泵组成节能、低碳的新型抽气机组，取代传统高能耗扩散泵和罗茨泵，其中50-0.1Pa压强段，采用分子增压泵，0.1-0.2Pa区段，采用分子增压泵+电弧钛泵，一举攻克了三大高能耗难题。

关键词： 蒸发镀膜设备 分子增压泵 电弧钛泵 设备改造 能耗控制

作者: 储继国 龚建华

作者单位: 深圳大学物理科学与技术学院,深圳518060

会议类型: 国内会议

会议名称: 广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 19-23

在线出版日期: 2010-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）