会议专题

离子镀装饰硬膜的颜色困扰和展望

本文对当前离子镀装饰硬膜生产中出现的色差以及黑色膜发彩问题进行初步疏理,对其成因和影响因素进行了分析、探讨和推测,从理论角度或工艺角度提出了一些见解,解决色差问题首要是提高炉内沉积条件均匀性,主要有镀膜空间等离子体要均匀,空间电场和磁场对等离子体均匀性影响,供反应气体的浓度、比例和布气的均匀性,工件受热表面温度均均性,工件运动对均匀性的补偿,避免遮挡,防止反溅率与膜生长应力影响和负偏压与等离子体鞘层的影响。

装饰硬膜 离子镀 膜层色差 工艺优化

袁镇海

广州有色金属研究院,广州510651

国内会议

广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会

深圳

中文

84-91

2010-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)