斜角沉积法制备纳米结构薄膜及其应用

摘要：

本文介绍了斜角沉积技术装置及工作原理和薄膜的生长机理，由生长机理可知，基片温度、沉积角度、基片旋转方式、速度、材料的熔点、工作压强、沉积速率等因素都会对成膜的微结构和性质产生重要影响。所得功能性薄膜材料具有各向异性、低折射率等特性，主要应用在光学薄膜、LED器件、太阳能电池、生化传感器等方面。

关键词： 薄膜材料 斜角沉积法 工艺参数 微观结构 各向异性 折射率

作者: 唐守利 唐振方 王小辉 卫红 曹一鸣

作者单位: 暨南大学物理系,广东,广州510632 广州市光机电技术研究院,广东,广州510663

会议类型: 国内会议

会议名称: 广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 97-104

在线出版日期: 2010-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）