会议专题

斜角沉积法制备纳米结构薄膜及其应用

本文介绍了斜角沉积技术装置及工作原理和薄膜的生长机理,由生长机理可知,基片温度、沉积角度、基片旋转方式、速度、材料的熔点、工作压强、沉积速率等因素都会对成膜的微结构和性质产生重要影响。所得功能性薄膜材料具有各向异性、低折射率等特性,主要应用在光学薄膜、LED器件、太阳能电池、生化传感器等方面。

薄膜材料 斜角沉积法 工艺参数 微观结构 各向异性 折射率

唐守利 唐振方 王小辉 卫红 曹一鸣

暨南大学物理系,广东,广州510632 广州市光机电技术研究院,广东,广州510663

国内会议

广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会

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97-104

2010-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)