Ti-Al-N系PVD硬质涂层的研究动态

摘要：

本文综合分析了Ti-Al-N系PVD涂层的研究开发动态,总结了Al含量对涂层组织结构、硬度及抗氧化性能的影响,为了进一步增加AlTiN涂层的性能，添加合金元素也是一个方向。这些合金元素包括Y,Cr,Zr,V等，添加Y,Cr可提高抗氧化能力，添加Zr,V可提高抗磨损能力，阐述了通过合金化和纳米复合多层等途径进一步提高涂层综合性能的可行性.

关键词： 刀具 氮化钛铝涂层 物理气相沉积法 成分配比

作者: 杜日昇 苏东艺 肖新生 袁镇海 田君 彭继华

作者单位: 广州今泰科技有限公司;广州华南理工大学材料学院 广州今泰科技有限公司 广州华南理工大学材料学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 105-108

在线出版日期: 2010-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）