以硅基材料为介质层的低辐射玻璃
低辐射玻璃是一种可以透过阳光中的大部分可见光，反射阳光中的部分近红外线，并具有很低的远红外线辐射系数的玻璃，节能效果非常明显。硬膜低辐射玻璃中的介质膜主要是二氧化钦。二氧化钦薄膜不但硬度高，而且折射率也高，颜色调整性能更好。硬膜的缺点是溅射速率低，用很多溅射靶同时工作才能达到一定的沉积速率。已有的离线低辐射玻璃还有一个明显的缺点是稳定性能差，生产出来后几天内必须封成中空玻璃，否则膜层性能将发生变化，甚至脱落。即使封接成中空结构，由于软性封接材料的弱呼吸作用，氧气仍能缓慢进入其中，导致性能劣化。可以在介质层和银层之间增加附着力强化层，该层采用铝、钦、锆、铅、钒、铌、钽、铬、镍、不锈钢等金属或合金薄膜中的一种，其厚度小于3纳米。采用硅氧、硅氮或硅氧氮薄膜为介质薄膜，其折射率可以在1.5到4之间任意调整，大大增加了结构设计的灵活性;这些薄膜致密，强度高，大大提高了低辐射玻璃的性能稳定性;硅氧薄膜沉积速率高，可以大大提高生产率，降低成本。
低辐射玻璃 介质层 硅基材料 稳定性能
李德杰
清华大学电子系
国内会议
广州
中文
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2009-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）