阳极层型气体离子源的特点及应用
阳极层型离子源虽然结构简单，但是要想设计好却不容易.通过加强离子源的磁场，使电子受到磁场的束缚，增加电子的行程，从而扩大等离子体的范围.等离子体不仅存在于内、外阴极和阳极之间的放电区域，而且在远离离子源的地方仍有存在。通常在镀膜时，希望到达工件表面的离子越多越好，通过提高工件的偏压可以吸引更多的离子，但同时也会产生一些负效应，如工件温度升高、膜层内应力增加等等。所以更恰当的方法是通过扩大离子源产生的等离子体的区域，以提高到达工件的离子数量。通过合理的磁场形状的设计，使离子源在工作时产生的等离子体最强处集中在放电区域的中间，这样当离子加速离开离子源时避免同两侧的阴极相碰撞，从而能够顺利到达工件表面.同时还会明显减少刻蚀阴极。作者设计的离子源特点可以总结为三点:高压，大电流，维护成本低.离子源可以清洗刻蚀非金属材料，和磁控溅射靶配合工作，改善涂层质量.
气体离子源 高压输出 大电流 设备维护
刘湧
北京技开源真空科技公司
国内会议
广州
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92-93
2009-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）