二氧化钒薄膜光学性能的研究进展
二氧化钒(VO2)在68℃附近存在半导体相和金属相间的可逆相变,伴随着相变,VO2的电阻率和近红外波段透射率产生突变,具有巨大的应用潜力,引起研究人员的广泛关注.根据V02薄膜具有半导体-金属相变性能，伴随着相变的发生，近红外波段的透射率明显降低，而可见光透射率改变不明显，用其在玻璃沉积成薄膜就可以根据温度自动调节近红外波段的透射率的智能玻璃。对于V02薄膜将用于实际应用的智能窗需要满足以下条件，在近红外波段具有较高的开关级；增加开关的清晰度，开关接近室温有效；降低开关的热滞宽度。V02薄膜的相变温度太高阻碍了许多实际的应用，应用于智能玻璃的V02薄膜的相变温度需要降到接近室温，许多研究工作者对制备工艺进行了研究，如退火温度、膜厚、衬底温度、在缓冲层上沉积和系列衬底研究等等。其中Sihai Chen等用反应离子束和通过退火成功获得了约35℃的低温相变的V02纳米结构薄膜。
二氧化钒薄膜 光学性能 相变温度
曾富强 叶勤
暨南大学物理学系,广州510632
国内会议
广州
中文
128-131
2009-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）