AZO透明导电薄膜的研究进展
本文主要介绍了AZO薄膜的晶体结构、导电机理、光电性能、典型制备技术和应用现状,并对其研究前景进行了展望.研究载流子的散射过程、掺杂物的作用、晶体陷阱态、微观结构对其电导率的影响；探索新的低温成膜技术，在室温下制备出高质量的AZO透明导电薄膜，以适应现代大规模集成电路从高温向低温发展的趋势，开发一种可以大批量生产、成本低、无污染的具有强大市场竞争力的生产工艺；寻找或制备出性能优异的衬底，如柔性衬底，并使其具有一定的耐温性、可见光透过率高、与薄膜相匹配性好、化学稳定性高等特点；发展新的可用的透明导电薄膜材料或多元材料的组合；利用光学薄膜设计技术，、制备多层导电薄膜体系，改善单层导电薄膜的光电性能；开拓新的AZO透明导电薄膜的应用领域。
导电薄膜 晶体结构 光电性能 制备工艺
张俊双 叶勤
暨南大学物理学系,广东广州510632
国内会议
广州
中文
151-156
2009-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）