蓝宝石钨金属化层显微分析

摘要：

采用扫描电镜和X射线衍射仪对不同烧结温度和不同烧结次数获得蓝宝石钨金属化层进行了显微分析,进而探讨了蓝宝石钨金属化的机理.显微分析结果表明:蓝宝石钨金属化温度较低时,金属化层发黑、掉粉、体积收缩小;温度达到1850℃时,金属化层连续、致密.焊接后结构完整,界面清晰;温度达到1900℃时,金属化层液相外溢,表面龟裂;最佳烧结温度约1850℃.一次涂膏进行1450℃低温预烧结,再第二次涂膏进行1850℃高温烧结可以得到比较理想的金属化层.蓝宝石钨金属化过程包含化学反应过程和钨液相烧结过程,界面产物为Al5Y3O12.

关键词： 蓝宝石 钨金属化 金属化层 烧结温度

作者: 齐立君 陆艳杰 张小勇 郑剑平

作者单位: 中国原子能科学研究院,北京102413 北京有色金属研究总院,北京100088

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国电子陶瓷、陶瓷——金属封接会议暨2015年真空电子与专用金属材料分会和电子陶瓷年会

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 23-27

在线出版日期: 2015-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）