加速器钛窗硬钎焊工艺研究
常用的钛窗大都采用软钎焊的方法制备，即采用锡铅钎料钎焊钛金属箔与无氧铜窗框以构成真空密封。这类钛窗受限于锡铅钎料的低熔点，耐热性较差。为避免在电子束辐照下产生漏气现象，需设计水冷系统降低钎焊接头的工作温度，势必造成了钛窗结构的复杂。为解决钛窗采用软钎焊工艺制造存在结构复杂、耐热性差的问题,对钛窗硬钎焊工艺进行了研究.选用了BA972Cu－V银铜钎料、云母片、真空炉、氦质谱检漏仪和扫描电镜等材料及设备.研究了云母片放置方式、钎焊工艺参数对接头质量的影响、钛窗宏观及微观质量以及钛窗在术中放射治疗加速器中的应用情况.研究表明.采用云母片叠层放置以隔离钛箔与模具、采用815℃×3 min的真空钎焊参数,可以获得质量良好的钎焊接头.研究还发现,钎焊过程中存在较为强烈的钛、铜基体向液态钎料中溶解的现象,这一现象有助于提高钎焊接头的强度.
钛窗 硬钎焊工艺 接头质量 放置方式 真空设备
张永清 丁耀根 王小霞 杜锡九 阎旭 高向阳
中国科学院电子学研究所高功率微波源与技术重点实验室,北京100190 广东中能加速器科技有限公司,广东东莞523808
国内会议
第十五届全国电子陶瓷、陶瓷——金属封接会议暨2015年真空电子与专用金属材料分会和电子陶瓷年会
郑州
中文
28-32
2015-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）