一种深紫外高感度光致抗蚀剂材料
聚对羟基苯乙烯和环己基乙烯基醚反应得到缩醛保护的产物.该聚合物易溶于常见的有机溶剂,具有较好的热稳定性,在248nm处透明性良好.该聚合物可与光产酸剂、聚(对羟基苯乙烯-甲基丙烯酸酯)组成一种三组分正性化学增幅型深紫外光致抗蚀剂,在光致抗蚀剂体系中引入聚(对羟基苯乙烯-甲基丙烯酸酯)可进一步提高光刻胶材料的玻璃化转变温度.初步研究了该抗蚀剂的感光成像性能.采用KrF激光(248nm)曝光,在低的后烘温度下,显影得到分辨率为180nm的线条图形。
光致抗蚀剂 制备工艺 玻璃化转变温度 感光成像性能
吴立萍 王菁 王力元
北京师范大学,北京100875
国内会议
广西北海
中文
109-113
2016-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）