酸性抛光液化学机械抛光SUS304不锈钢时pH值作用分析

摘要：

抛光液是化学机械抛光系统中主要组成部分,它的性能及成份与材料去除率和表面质量密切相关.本文以HNO3为pH值调节剂,研究了H2O2、FeCl3两种常用氧化剂的抛光液抛光时pH对材料去除率和表面粗糙度的影响,研究结果表明:在超精密化学机械抛光中,不锈钢化学机械抛光液的氧化剂、pH值对抛光后不锈钢表面的材料去除率影响较大;相同条件下,以硝酸作为pH值调节剂时材料去除率随pH值的增大而降低;酸性条件下化学机械抛光不锈钢时,FeCl3氧化剂的抛光液比双氧水氧化剂的抛光液能获得更大的材料去除率.本文研究结果可为SUS304不锈钢酸性化学机械抛光液的研究提供参考依据.

关键词： 不锈钢 化学机械抛光 酸性抛光液 酸碱值 材料去除率 表面粗糙度

作者: 苏建修 田峰 张骞 李勇峰 马利杰

作者单位: 河南科技学院机电学院,河南新乡453003

会议类型: 国内会议

会议名称: 2016年中国(国际)光整加工技术及表面工程学术会议暨2016年中国光整加工技术产学研协调发展论坛

会议地点: 辽宁鞍山

会议语种:中文

页码: 31-32

在线出版日期: 2016-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）