304不锈钢化学机械抛光工艺参数研究

摘要：

本文研究了抛光压力、抛光液流量、抛光转速和抛光时间对材料去除速率和表面粗糙度的影响.实验结果表明:在抛光压力为2psi、抛光液流量为15ml/min、抛光时间为35min、抛光转速为60r/min的工艺条件下,304不锈钢去除速率达到224.56nm/min,表面粗糙度降至为6nm,既节约了成本又保证了最好的表面粗糙度和较高的材料去除速率.而这项研究结果,为研究超薄304不锈钢材料作为柔性衬底提供理论依据和技术指导.

关键词： 不锈钢片 化学机械抛光 工艺参数 材料去除率 表面粗糙度

作者: 李庆 陈绍坤 彭亚男 秦洪权 付素芳 苏建修

作者单位: 河南科技学院,机电学院,新乡,453003 驻马店技师学院,机械工程系,驻马店,463000 河南理工大学,机械与动力工程学院,焦作,454000

会议类型: 国内会议

会议名称: 2016年中国(国际)光整加工技术及表面工程学术会议暨2016年中国光整加工技术产学研协调发展论坛

会议地点: 辽宁鞍山

会议语种:中文

页码: 57-58

在线出版日期: 2016-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）