有界窄带激励下微梁系统主共振
微电子机械系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)是指将机械，电子，光学等类型的功能元件，集成在单片或多片芯片上构成的微型智能系统。研究串联电路与微梁耦合系统在有界窄带激励下的主共振问题.建立有界窄带激励下微梁系统的随机微分方程.应用多尺度法得到系统主共振的一次近似解及其稳态解,导出系统的Ito随机微分方程,采用矩法得到系统随机均方响应的近似表达式,数值分析系统各个参数对微梁响应的影响.结果表明,主共振稳态解稳定的充分必要条件与系统一阶矩和二阶矩稳定的充分必要条件是一样的;随着带宽γ的增加,相轨图极限环的厚度增加;当微梁上极板的宽度、厚度和长度增加时,极板振幅的二阶矩增大;当上极板的阻尼系数、轴向力以及上下极板间的距离增加时,极板振幅的二阶矩减小.
微电子机械系统 主共振问题 窄带激励 随机微分方程
杨志安 赵开元
唐山学院唐山市机构与振动工程重点实验室,唐山063000 华北理工大学机械工程学院,唐山063000
国内会议
厦门
中文
313-320
2016-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）