基于(110)ZnO/36°YX-LiTaO3结构Love波的声学特性研究

摘要：

建立(110)ZnO/IDT/36°YX-LiTaO3多层结构延迟线的3D模型,利用有限元方法对该延迟线所激发Love波的传播特性进行仿真研究.结果表明,当声波传播方向与ZnO的c轴垂直且薄膜厚度与波长的比值th/λ=0.044时,Love波机电耦合系数取最大值7.837％.Love波的水平剪切位移分量远大于横向和纵向位移分量,因此基于该结构的Love波传感器可用于液体环境下的传感检测.然后讨论了传播方向对Love波声学特性的影响,分析发现,Love波机电耦合系数随传播方向的变化而变化,当传播方向与ZnO薄膜的c轴夹角θ=30°时,机电耦合系数达到最大值10.054％.

关键词： 声表面波 传播特性 机电耦合 声学特性

作者: 谢英才 王艳 张淑仪 兰晓东

作者单位: 南京邮电大学电子科学与工程学院,南京210046 南京邮电大学电子科学与工程学院,南京210046;南京大学声学研究所近代声学实验室,南京210093 南京大学声学研究所近代声学实验室,南京210093

会议类型: 国内会议

会议名称: 2016年全国声学学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 462-464

在线出版日期: 2016-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）