指条厚度对质量型SAW传感器性能影响的理论分析

摘要：

本文针对检测器金属指条厚度对声表面波传感器性能的影响进行了理论分析.利用有限元方法提取了不同指条厚度下声表面波检测器负载质量的耦合模参量,结合耦合模模型和P矩阵级联技术,仿真了不同指条厚度下检测器对相同负载的频率响应,对比得到了传感器性能最优化时检测器指条的厚度参量.理论优化了声表面波传感器性能,为进一步实验研究奠定了基础.

关键词： 声表面波传感器 质量负载 频率响应 指条厚度 有限元方法 耦合模模型

作者: 郝文昌 刘久玲 何世堂

作者单位: 中国科学院声学研究所,北京100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 2016年全国声学学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 468-470

在线出版日期: 2016-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）