小口径非球面玻璃透镜模压成形实验研究
本文对非球面玻璃透镜模压成形用碳化钨模具的超精密磨削技术进行研究,探讨了加工过程中的误差补偿技术;然后选用DZK3玻璃,进行超精密模压成形实验,研究模压成形工艺参数对成形透镜成形精度和表面粗糙度的影响规律,并对轮廓偏移进行补偿研究。通过在机测量装置测量得到加工误差,采基于误差补偿技术获得高质量的超精密模具,其P-V值达到125nm,RMS达到31nm。在一台多工位机床上进行非球面玻璃透镜的模压成形实验,模压成形出具有亚微米级形状精度和纳米级表面粗糙度的单面非球面玻璃透镜,其P-V值是845nm,RMS值是93nm。确定了合适的模压温度范围,研究了主要模压成形工艺参数对形状精度的影响:模压温度对形状精度的影响呈现无规律性,表面粗糙度随模压温度的升高而增大;形状精度随着模压速率的增大和退火速率的减小而增大;模压速率和退火速率对表面粗糙度影响较小。测量成形透镜的轮廓曲线,基于反向补偿理论进行补偿,然后通过曲线拟合方法得到其修正曲线方程。实验结果表明,经补偿后,成形透镜的形状精度由845nm提高到375nm,验证了补偿技术的有效性。
玻璃透镜 模压成形 误差补偿 表面粗糙度
朱科军 张高峰 尹韶辉 余剑武 何源 欧阳波
湘潭大学机械工程学院,湘潭,411105 湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心,长沙,410082
国内会议
湖南湘潭
中文
27-28
2015-11-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)