超声振动辅助锯切单晶硅的力与力比分析
本文通过金刚石薄锯片在有无超声辅助两种方式下对单晶硅材料进行精密锯切实验,探索超声振动对锯切力与力比的影响.实验结果表明,在普通锯切方式中加入超声振动,使锯片上金刚石磨粒对工件材料的切削方式从连续切削变为间歇切削,超声振动的冲击使得单晶硅的去除方式是以微细的脆性崩碎去除为主,从而使锯切过程工件材料更容易切除,减小了锯切过程的锯切力,而增大了锯切力比.
单晶硅 锯切处理 超声振动 受力分析
陈剑彬 王江全 沈剑云 徐西鹏
华侨大学机电及自动化学院,福建厦门,361021
国内会议
湖南湘潭
中文
108-113
2015-11-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）