外加磁场对小功率微波微等离子体激励的影响

摘要：

本文基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波微等离子体源,通过外加磁铁研究磁场对小功率微波微等离子体激励的影响.实验结果表明,当真空度为3.7Torr时,小功率微波微等离子体的激励功率随着外加磁场的增大而减小.这为小功率微波微等离子体源的小型化研究提供基础.

关键词： 小功率微波微等离子体 外加磁场 激励功率 微带环缝谐振器

作者: 刘艺斌 廖斌

作者单位: 华东师范大学信息学院,上海200241

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013年全国微波毫米波会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 1950-1952

在线出版日期: 2013-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）