镀银表面微陷阱结构抑制微放电效应研究
提出并研究了掩膜离子束刻蚀在微波部件镀银表面形成微陷阱结构抑制二次电子发射的方法.利用金属掩膜法离子束刻蚀在镀银表面形成初步的纳米陷阱结构,在此基础上利用硝酸铁溶液进行扩孔,得到更大孔隙率的陷阱结构表面.利用电流法测试试样表面处理前后的二次电子发射特性,结果表明这种结构确能显著抑制金属表面二次电子发射系数.利用CST软件仿真,具有该微陷阱结构的镀银微波部件微放电阈值获得了提高.因此,该方法为抑制由二次电子发射引起的微波部件微放电效应提供了一种新方案.
微波部件 镀银表面 微陷阱结构 二次电子发射特性 微放电效应 离子束刻蚀
胡少光 贺永宁 张鹤 苗治聪 张玉航 李艳玲 胡天存 崔万照
西安交通大学电子与信息工程学院,西安710049 第四军医大学口腔医院生物教研室,西安710005 中国空间技术研究院西安分院空间微波技术国防科技重点实验室,西安710100
国内会议
重庆
中文
1965-1968
2013-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）